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碳化硅陶瓷材料的应用

2019-01-21 14:41

SiC陶瓷不仅具有优良的常温力学性能,如高的抗弯强度、优良的抗氧化性、良好的耐腐蚀性、高的抗磨损以及低的摩擦系数,而且高温力学性能(强度、抗蠕变性等)是已知陶瓷材料中Z佳的。热压烧结、无压烧结、热等静压烧结的材料,其高温强度可一直维持到1600℃,是陶瓷材料中高温强度Z好的材料。抗氧化性也是所有非氧化物陶瓷中Z好的。

碳化硅陶瓷由于其高硬度的特点而广泛用于耐磨机械零件中,特别是球磨机中的研磨介质(磨介)。球磨机中所用的磨介对研磨效率有着重要的影响,其基本要求是硬度高、韧性好,以保证研磨效率高、掺杂少的要求。我公司生产的SIC-1型碳化硅陶瓷磨介适合于普通球磨机中使用,氯化氢合成系统具有硬度高、强度高、价格适中的特点。而SIC-2型碳化硅陶瓷磨                 

研磨盘是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。通常使用的铸铁或碳钢研磨盘其使用寿命低,热膨胀系数大。在加工硅片过程中,特别是高速研磨或抛光时,由于研磨盘的磨损和热变形,使硅片的平面度和平行度难以保证。

氯化氢合成系统

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